催化燃烧的工艺流程分为几个步骤
根据废气的预热方式和富集方式，催化燃烧过程可分为三种类型。
(1)预热型。预热是催化燃烧最基本的流动形式。有机废气温度在100℃以下，浓度低，热量不能自给，需要在预热室加热后才能进入反应器。燃烧净化后的气体在热交换器中与未处理的废气进行热交换，回收部分热量。该过程通常使用煤气或电加热将温度升高到催化反应所需的起燃温度。
(2)自热平衡公式。有机废气排放时，温度高于起燃温度(约300℃)，有机物含量较高。热交换器回收净化气体产生的部分热量，可以在正常运行下保持热平衡，无需补充热量。催化燃烧反应器点火一般只需安装电加热器。
(3)吸附-催化燃烧。当有机废气流量大、浓度低、温度低、催化燃烧需要消耗大量燃料时，可以通过吸附手段将有机废气吸附在吸附剂上进行浓缩，然后通过热空气吹扫将有机废气解吸成高浓度有机废气(可浓缩10倍以上)，再进行催化燃烧。此时，无需补充热源即可维持正常运行。
有机废气催化燃烧工艺的选择主要取决于:
(1)燃烧过程中释放的热量，即废气中可燃物的类型和浓度；
(2)起燃温度，即有机组分的性质和催化剂活性；
(3)热回收率等。当回收的热量超过预热所需热量时，无需外部补充热源即可实现自身热平衡运行，最经济。
